數(shù)字式四探(tàn)針測試儀是(shì)運用四(sì)探針(zhēn)測量(liàng)原理(lǐ)的(de)多(duō)用途(tú)綜合(hé)測量設備(bèi)。該儀(yí)器按照單晶矽物理測試方法(fǎ)國家(jiā)标準并參考(kǎo)美國 a.s.t.m 标(biāo)準
而(ér)設計(jì)的,專(zhuān)用(yòng)于(yú)測試半導(dǎo)體材(cái)料電阻率(lǜ)及方(fāng)塊電阻(薄(báo)層電(diàn)阻)的(de)專
用(yòng)儀器(qì)。儀器(qì)由主(zhǔ)機、測試台、四(sì)探針探(tàn)頭、計算機(jī)等部(bù)分組(zǔ)成(chéng),測
量數(shù)據(jù)既可由(yóu)主機(jī)直接顯(xiǎn)示,亦可(kě)由計算機(jī)控制(zhì)測試(shì)采集測試(shì)數據到(dào)
計算機(jī)中(zhōng)加以分析,然(rán)後以(yǐ)表格(gé),圖形(xíng)方式(shì)統計分析(xī)顯示(shì)測(cè)試結果
本儀(yí)器适用于(yú)半(bàn)導體材料廠(chǎng)、半導(dǎo)體器(qì)件(jiàn)廠(chǎng)、科研單位、高等(děng)院校對半(bàn)導體材料(liào)的電阻性能測(cè)試。
四探針(zhēn)軟件測(cè)試系(xì)統(tǒng)是一個(gè)運(yùn)行在(zài)計算機(jī)上擁有(yǒu)友好(hǎo)測試界面(miàn)的(de)用戶程(chéng)序,通(tōng)過此測(cè)試程序(xù)輔助使用戶簡(jiǎn)便地進行(háng)各項(xiàng)測試及獲(huò)得測試數(shù)據并對測(cè)試數據進行統(tǒng)計分(fèn)析。
測(cè)試程(chéng)序控制(zhì)四探針測試(shì)儀進行測量并采集測試(shì)數據,把采集到(dào)的數(shù)據在計算機中加(jiā)以分析(xī),然後(hòu)把測試數據以表(biǎo)格(gé),圖形(xíng)直觀地記錄、顯(xiǎn)示出來(lái)。用(yòng)戶可(kě)對采集(jí)到的數(shù)據在(zài)電(diàn)腦中保存或者打印以(yǐ)備日後參考和(hé)查看(kàn),還可(kě)以把(bǎ)采集到的數據(jù)輸出到excel中(zhōng),讓用(yòng)戶對數據進行(háng)各種(zhǒng)數(shù)據分析(xī)